电子制造摩擦学

电子制造摩擦学

本文来自《摩擦学学报》2023年第43卷第8期，由中国矿业大学（北京）机械与电气工程学院葛世荣院士团队完成。摩擦学的历史远远早于人类工业发展史，但摩擦学在推动工业发展上一直起到重要作用。纵观人类历史，“摩擦”与“电”的关系始终如影随形，从摩擦起电(triboelectrification)发展到当今的摩擦电子(tribotronics)，摩擦学势必在未来的电子制造中呈现多样化发展趋势，在推动电子行业发展中起到更加重要的作用。同时，当前世界格局下，电子产业成为大国竞争焦点，掌握高端电子产品制造技术即占领科技制高点。基于以上思考，作者从电子制造角度出发，详细阐述摩擦学在高端电子产品制造这一应用领域中的作用。从“电子制造中的摩擦学”到“电子制造摩擦学”，成为未来科研领域的重要研究方向。

论文最后指出电子制造摩擦学的基础科学问题，包括原子精度表面加工中的摩擦学行为及加工原理与方法，高速运动表面纳米润滑理论及表面膜技术以及基于摩擦界面效应的纳尺度加工新原理、新方法。基于此，未来电子制造摩擦学的发展将与原子制造技术和微纳摩擦学的发展密不可分，重点实现电子制造过程中纳米级、原子级材料的精确去除、迁移和增加，以及应用摩擦学方法开发新型电子制造技术。电子制造摩擦学相关研究能够丰富微纳米摩擦学内涵，为设计制造高性能、新型电子基础产品提供重要科学依据。

文章链接：https://www.tribology.com.cn/graphicAbstract_cn.htm?articleId=5e396bd0-c107-4ec4-a2eb-abd31520c654